Международная конференция ФизикА.СПб/2023 23-27 октября 2023 г., Санкт-Петербург
Прикладная оптика

Моделирование и измерение локального перемещения актюаторов в пьезокерамических линейках при уменьшении поперечного сечения

В. В. Топоровский^a, В. В. Самаркин^a, А. В. Кудряшов^a, И. В. Галактионов^a, А. А. Панич^b, А. Ю. Малыхин<sup>b

a</sup> Институт динамики геосфер имени академика М.А. Садовского РАН, 119334 Москва, Россия
^b Южный федеральный университет, Институт высоких технологий и пьезотехники, 119334 Москва, Россия

Аннотация: Произведено численное моделирование многослойных пьезоактюаторов с площадью поперечного сечения 2 $\times$ 2 mm. Было показано, что при использовании межэлектродной коммутации в пьезоактюаторах наблюдается локальное перераспределение максимумов поперечной деформации, что приводит к снижению механической прочности и надежности управляющих элементов. Были произведены пьезокерамические линейки с идентичными линейными размерами и измерены механические и электрофизические свойства разработанных устройств. Выявлено, что перемещение при управляющем напряжении 300 V снижается с 4 до 1.5 $\mu$m при использовании межэлектродного способа коммутации в сравнении с многослойными актюаторами большего сечения из-за снижения эффективной площади поляризации пьезоактюаторов. Были изготовлены пьезокерамические линейки с проволочным типом коммутации, где перемещение при управляющем напряжении 300 V составило 4.6–4.8 $\mu$m.

Ключевые слова: корректоры волнового фронта, многослойные пьезоактюаторы, метод конечных элементов, адаптивная оптика.

Поступила в редакцию: 12.05.2023
Исправленный вариант: 16.10.2023
Принята в печать: 30.10.2023

DOI: 10.61011/OS.2023.11.57021.5092-23

Реферативные базы данных:

•