Оптические материалы

Оптические и фотолюминесцентные свойства в ультрафиолетовой и видимой полосах спектра тонких пленок ZnO, созданных с помощью корпускулярно-фотонной технологии

Л. В. Григорьев^ab, А. А. Семенов<sup>b

a</sup> Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
^b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследованы структурные, оптические и фотолюминесцентные свойства тонких пленок ZnО, созданных по различным корпускулярно-фотонным технологиям: реактивным ионно-плазменным распылением, импульсным электронно-лучевым испарением и лазерной абляцией. Приведены результаты рентгеноструктурного анализа пленок оксида цинка, синтезированных на подложках из кварца КУ-1. Приведены спектры пропускания, спектры отражения, спектры поглощения и спектральная зависимость фотолюминесценции тонких пленок ZnO в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра.

Ключевые слова: оксид цинка, дифрактограмма, реактивное ионно-плазменное распыление, импульсное электронно-лучевое распыление, лазерная абляция, спектр пропускания, спектр отражения, спектр фотолюминесценции.

Поступила в редакцию: 10.09.2024
Исправленный вариант: 10.09.2024
Принята в печать: 27.10.2024

DOI: 10.61011/OS.2024.10.59421.7064-24

Реферативные базы данных:

•