SEMICON Россия 2014

Многофункциональные тепловые МЭМС-датчики

Ю. Д. Акульшин, А. В. Глуховской, А. Н. Казакин, И. М. Комаревцев, М. С. Лурье, Е. Н. Пятышев

Санкт-Петербургский государственный политехнический университет

Аннотация: Представлены результаты работ лаборатории нано- и микросистемной техники СПбГПУ по созданию и исследованию тепловых МЭМС-датчиков различного функционального назначения. Датчики реализованы на основе разработанного базового МЭМС-преобразователя и технологии егоизготовления.

Ключевые слова: технологи, датчики, МЭМС.

УДК: 681.586.6