МЭМС-технологии: теория и практика

Capacitive MEMS microphones for medical applications

[Ёмкостные МЭМС микрофоны для медицинского применения]

V. V. Loboda, U. V. Salamatova

Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University

Аннотация: Микрофоны, произведенные по технологии МЭМС, находят новое применение и в медицине. Однако для медицины нужны более чувствительные и низкочастотные МЭМС-микрофоны. Для этой цели больше всего подходят ёмкостные микрофоны, так как они имеют низкий уровень шумов и высокую чувствительность по сравнению с пьезоэлектрическими и пъезорезистивными микрофонами. Конструкция и материалы позволяют изменять электрические параметры микрофона в лучшую сторону. Повысить чувствительность можно путем подбора такого состава в структуре мембраны, при котором будут минимальны внутренние механические напряжения. Подобрав конструкцию МЭМС, можно расширить и частотный диапазон. Увеличить податливость мембраны можно за счет применения прорезей по краям, гофр и пружин.

Ключевые слова: МЭМС, ёмкостный микрофон, низкочастотный микрофон, чувствительность, мембраны.

УДК: 621.3.049.7

Поступила в редакцию: 15.06.2021

Язык публикации: английский

DOI: 10.18721/JCSTCS.14205