Оптические функции и параметры зонной структуры тонких слоев пористого кремния в диапазоне энергий 0,1–6,2 Эв

Д. Т. Ян

Дальневосточный государственный университет путей сообщения, Хабаровск, Россия

Аннотация: Проведено исследование оптических свойств слоев пористого кремния, полученного на кристаллическом кремнии р-типа (100) методом анодного травления. Из оптических спектров на пропускание и отражение проведена оценка основных оптических характеристик пористого кремния. Установлено, что явление видимой фотолюминесценции пористого кремния обусловлено изменением параметров зонной структуры.

Ключевые слова: пористый кремний, фотолюминесценция, рекомбинация.

УДК: 537.533.3

Реферативные базы данных:

•