Методы цифровой голографической интерферометрии и их применение для измерения наноперемещений

М. Е. Гусев^a, А. А. Воронин^a, В. С. Гуревич^b, А. М. Исаев^b, И. В. Алексеенко^c, В. И. Редкоречев<sup>d

a</sup> Балтийский федеральный университет им. И. Канта, Калининград, Россия
^b Научно-производственная фирма "Центр лазерных технологий", Алматы, Казахстан
^c Институт технической оптики Штуттгартского университета, Штуттгарт, Германия
^d НПО "Академприбор" АН Республики Узбекистан, г. Ташкент

Аннотация: В работе проведено сопоставление классических и цифровых методов голографической интерферометрии, показано преимущество цифровой голографии. Описаны новые цифровые методы, расширяющие возможности голографических измерений, диапазон исследований, наглядность представления результатов. Проанализированы все этапы регистрации, обработки и представления результатов измерений, проведены оценки требований к регистрирующим устройствам. Подробно рассмотрены проблемы автоматизации процесса голографических измерений, программно-аппаратные средства для создания полностью автоматизированного цифрового голографического измерительного комплекса. Приведены практические примеры использования цифровой голографии в механике, контрольно-измерительной технике, оптико-физических измерений. Показано, что данные цифровые голографические системы могут эффективно использоваться для измерений перемещений нанометрового диапазона.

Ключевые слова: голографическая интерферометрия, цифровая голография, виброметрия, наноизмерения, неразрушающий контроль, бесконтактная диагностика.

УДК: 004.94

Реферативные базы данных:

•