CHEMISTRY AND MATERIAL SCIENCE

Effect of rotational speed on structural, morphological, and optical properties of solgel spin coated Sb doped SnO$_2$ thin films

[Влияние скорости вращения на структурные, морфологические и оптические свойства тонких пленок легированной сурьмой окиси олова (SnO$_2$), полученных методом золь-гель центрифугирования]

D. Subramanyam^ab, B. Rajesh Kumar^c, K. Chandrasekhara Reddy<sup>ad

a</sup> Research and Development Centre, Bharathiar University, Coimbatore, 641046, Tamil Nadu, India
^b Department of Physics, STSN Govt Degree College, Kadiri, 515591, Andhra Pradesh, India
^c Department of Physics, School of Science, GITAM (Deemed to be University), Visakhapatnam, 530 045, Andhra Pradesh, India
^d Department of Physics, Govt. Degree College, Uravakonda, 515812, Anantapur, Andhra Pradesh, India

Аннотация: Пленки диоксида олова, легированного сурьмой (ATO), были получены на стеклянных подложках методом центрифужного нанесения при скоростях вращения от 2000 до 3500 об/мин. Исследовано влияние скорости вращения на физические свойства пленок Sb-SnO$_2$. Рентгенограммы пленок Sb-SnO$_2$ демонстрируют тетрагональную структуру рутила. Морфология поверхности показывает однородный рост пленок со сферической структурой, а при более высоких скоростях вращения наблюдалась агломерация зерен. Пленки Sb-SnO$_2$, полученные при 3500 об/мин, показывают оптимальное пропускание 82% в видимой области. Энергия оптической запрещенной зоны пленок Sb-SnO$_2$ увеличилась с 3.23 до 3.46 эВ вследствие эффекта Бёрстайна–Мосса. Удельное электрическое сопротивление пленок Sb-SnO$_2$ увеличилось с 2.80 $\times$ 10$^{-4}$ до 3.86 $\times$ 10$^{-4}$ Ом$\cdot$см при увеличении скорости вращения с 2000 до 3500 об/мин.

Ключевые слова: пленки Sb-SnO$_2$, рентгеноструктурный анализ, морфология поверхности, оптические свойства, электрические свойства.

Поступила в редакцию: 10.04.2025
Исправленный вариант: 05.09.2025
Принята в печать: 06.10.2025

Язык публикации: английский

DOI: 10.17586/2220-8054-2025-16-5-660-668