Вычислительные методы и алгоритмы

Метод обработки данных интерферометрического контроля растворения резистных пленок

А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, В. А. Никитаев, В. Е. Тукиш


Аннотация: В работе приведено описание методики получения и алгоритма обработки интерферометрических данных, позволяющих получать зависимости толщины резистной пленки и скорости ее растворения от времени в процессе проявления. Значение толщины пленки контролируется с точностью $\pm0,01$ мкм в случае отсутствия набухания резиста.

УДК: 535.417

Поступила в редакцию: 21.10.1988

Реферативные базы данных:

•