Вычислительные методы и алгоритмы

Модель роста арсенида галлия в молекулярно-лучевой эпитаксии

H. В. Песков

Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова

Аннотация: Представлена статистическая модель роста арсенида галлия в методе молекулярно-лучевой эпитаксии. Модель включает в себя процессы адсорбции, десорбции, миграции галлия и диссоциативной адсорбции, ассоциативной десорбции, миграции мышьяка. Описан алгоритм Монте–Карло. Приведены результаты расчетов.

Поступила в редакцию: 09.04.1990

Реферативные базы данных:

•