Эта публикация цитируется в 7 статьях

Радиофизика

Методы исследования тонких диэлектрических пленок в миллиметровом диапазоне

С. Н. Власов, В. В. Паршин, Е. А. Серов

Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Для миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов длин волн предлагается оригинальный метод измерения параметров диэлектрических пластинок и пленок толщиной меньше $\lambda$/2, основанный на определении характеристик мод открытого резонатора Фабри–Перо, имеющих различную поляризацию. Этим методом для изотропных материалов находятся как величина показателя преломления и $\operatorname{tg}\delta$, так и толщина пленок. Для анизотропных пленок с известной толщиной метод позволяет измерять компоненты тензора диэлектрической проницаемости. Исследованы популярные пленочные материалы – тефлон (политетрафторэтилен, PTFE), лавсан (майлар, полиэтилентерефталат, PETP), полиамид с минимальной толщиной $\sim$5 $\mu$m. Выявлена заметная анизотропия рулонных пленочных материалов, а также зависимость диэлектрических свойств от толщины, обусловленная технологией производства. Проведены исследования зависимости показателя преломления и $\operatorname{tg}\delta$ пленок от влажности воздуха.

Поступила в редакцию: 11.12.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2010, 55:12, 1781–1787

Реферативные базы данных:

•