Аннотация:
Изучено влияние напряженно-деформированного состояния на границе раздела пленка–подложка на процессы упругой деформации пленок Ti при знакопеременном изгибе. Показано, что податливость подложки Al обусловливает когерентную деформацию системы пленка–подложка, приводя к гофрированию пленки Ti и возникновению волнистой границы раздела пленка–подложка. В процессе усталостных испытаний вдоль границы раздела формируется периодическое распределение нормальных и касательных напряжений, вызывающее периодическое коробление пленок. Коробление пленок Ti на подложке Ti происходит случайным образом на участках локального отслоения пленок и обусловлено накоплением дефектов на границе раздела.