А. А. Гончаров, А. Н. Евсюков, Е. Г. Костин, Б. В. Стеценко, Е. К. Фролова, А. И. Щуренко, “Синтез нанокристаллических пленок диоксида титана в цилиндрическом газовом разряде магнетронного типа и их оптическая характеризация”, ЖТФ, 2010, том 80, выпуск 8,страницы 127

Эта публикация цитируется в 11 статьях

Поверхность, электронная и ионная эмиссия

Синтез нанокристаллических пленок диоксида титана в цилиндрическом газовом разряде магнетронного типа и их оптическая характеризация

А. А. Гончаров^a, А. Н. Евсюков^a, Е. Г. Костин^b, Б. В. Стеценко^a, Е. К. Фролова^a, А. И. Щуренко^a

^a Институт физики НАН Украины, 03680 Киев, Украина
^b Институт ядерных исследований НАН Украины, 03680 Киев, Украина

Аннотация: Приведены результаты экспериментального исследования плазмодинамических и спектральных характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа. Спектр излучения плазмы регистрировался в диапазоне 350–820 в режиме реального времени. Определены условия для синтеза бинарного соединения TiO$_2$, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Рассмотрена возможность контроля условий получения пленок TiO$_2$ как по спектральным характеристикам плазмы разряда, так и по изменению разрядного напряжения. Эллипсометрические и спектральные исследования нанокристаллических пленок диоксида титана демонстрируют наличие зависимости показателя преломления от толщины пленки.

Поступила в редакцию: 12.01.2010