Эта публикация цитируется в 10 статьях

Поверхность, электронная и ионная эмиссия

Получение высококачественных пленок на основе манганита на усовершенствованной магнетронной приставке ВУП-5М

Ю. М. Николаенко, А. Б. Мухин, В. А. Чайка, В. В. Бурховецкий

Донецкий физико-технический институт им. А. А. Галкина, г. Донецк

Аннотация: Описана конструкция дополнительного теплового и электрического экрана, предназначенного для повышения качества получаемых пленок в отношении кристаллической структуры и равной толщины. Применение экрана позволяет использовать более мощный источник тепла для нагрева подложки и оптимизировать процесс эпитаксиального роста пленок. Экран одновременно выполняет функцию дополнительного анода, который изменяет динамику плазмы в рабочем пространстве и гомогенизирует радиальное распределение плотности потока нейтральных частиц от мишени к подложке.

Поступила в редакцию: 26.11.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2010, 55:8, 1189–1192

Реферативные базы данных:

•