Эта публикация цитируется в 28 статьях

Твердотельная электроника

Многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B$_4$C и La/B$_9$C

С. С. Андреев, М. М. Барышева, Н. И. Чхало, С. А. Гусев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Д. Н. Рогачев, Н. Н. Салащенко, Ю. А. Вайнер, С. Ю. Зуев

Институт физики микроструктур РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Изготовлены и исследованы многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B$_4$C и La/B$_9$C, предназначенные для отражения излучения в спектральной области $\lambda$ = 6.7 nm. Для различных периодов зеркал продемонстрированы коэффициенты отражения на уровне 40–60%. На основе модели структуры с несимметричным профилем диэлектрической проницаемости в периоде зеркала объяснен “эффект” различия значений межслоевой шероховатости, восстанавливаемой по данным измерений в жестком и мягком рентгеновском диапазонах длин волн. Разработана экспресс-методика оценки профиля диэлектрической проницаемости в периоде многослойной структуры по данным рефлектометрических измерений. Экспериментально изучено влияние антидиффузионных барьеров Sn, Cr и Mo на коэффициент отражения La/B$_4$C многослойных структур.

Поступила в редакцию: 23.09.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2010, 55:8, 1168–1174

Реферативные базы данных:

•