Аннотация:
Методом малоуглового рентгеновского рассеяния исследовано влияние режимов формирования и отжига на протекание в ионно-плазменных конденсатах системы W–Ti–B концентрационно-структурного упорядочения. Образуемая модулированная структура при относительно низкой (до 770 K) температуре конденсации твердого раствора имеет однородное объемное распределение структурных фрагментов. Выявлен постадийный механизм перехода от объемно-модулированной структуры к одномерно-модулированной при увеличении температуры формирования от 570 до 1170 K. Установлено уменьшение диффузионной подвижности при создании модулированной структуры на основе упорядочения металлических (W–Ti) атомов при увеличении времени отжига метастабильного постконденсационного состояния ионно-плазменного конденсата. При использовании трехэлектродной схемы ионного распыления действие радиационного фактора приводит к усилению эффекта концентрационного расслоения в конденсате, понижает температуру перехода и стимулирует увеличение длины волны $\lambda_{\mathrm{od}}$ концентрационного упорядочения.
Поступила в редакцию: 18.08.2009 Принята в печать: 23.12.2009