Аннотация:
Исследовано изменение параметров отражательного разряда с полым катодом в процессе его непрерывной работы на пропане при потоках газа 1.3–5.6 m$^3$$\cdot$ mPa/s и токах разряда 0.1–0.4 A. Показано, что при потоках углеводорода 2.46 m$^3$$\cdot$ mPa/s и более через некоторый промежуток времени, зависящий от разрядного тока и давления газа, наблюдается рост разрядного напряжения, что объясняется образованием на электродах разрядной камеры покрытий из продуктов диссоциации молекул углеводорода. Рост со временем углеродных покрытий на катодах и зарядка их ионами приводит к электрическому пробою покрытий и образованию катодных пятен. Осциллограммы разрядного тока и напряжения свидетельствуют о кратковременном переходе тлеющего разряда в дуговой. Измерены энергетические спектры ионов, выходящих из разряда. Исследовано влияние тока разряда и потока газа на величину разброса ионов по энергиям. Определено время работы разряда на углеводороде, по истечении которого необходима очистка разрядной камеры. Сделаны выводы о возможности использования источника ионов на основе отражательного разряда с полым катодом для технологических приложений.
Поступила в редакцию: 27.07.2009 Принята в печать: 23.12.2009