А. С. Орехов, Т. С. Камилов, А. Г. Гаибов, К. И. Вахабов, В. В. Клечковская, “Об особенностях роста пленок высшего силицида марганца на кремнии”, ЖТФ, 2010, том 80, выпуск 6,страницы 121

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Краткие сообщения

Об особенностях роста пленок высшего силицида марганца на кремнии

А. С. Орехов^a, Т. С. Камилов^b, А. Г. Гаибов^b, К. И. Вахабов^b, В. В. Клечковская^a

^a Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН, 119333 Москва, Россия
^b Ташкентский государственный технический университет им. Абу Райхана Беруни, 700095 Ташкент, Узбекистан

Аннотация: Выращивались пленки слицида марганца на кремнии в условиях диффузионного легирования кремния из парогазовой фазы в равновесных и неравновесных условиях в зависимости от весовых значений лигатуры. Выявлены некоторые особенности динамики их формирования.

Поступила в редакцию: 05.05.2009