В. М. Береснев, О. В. Соболь, А. Д. Погребняк, П. В. Турбин, С. В. Литовченко, “Термическая стойкость фазового состава, структуры и напряженного состояния ионно-плазменных конденсатов системы Zr–Ti–Si–N”, ЖТФ, 2010, том 80, выпуск 6,страницы 117

Эта публикация цитируется в 20 статьях

Краткие сообщения

Термическая стойкость фазового состава, структуры и напряженного состояния ионно-плазменных конденсатов системы Zr–Ti–Si–N

В. М. Береснев^abcde, О. В. Соболь^abcde, А. Д. Погребняк^abcde, П. В. Турбин^abcde, С. В. Литовченко^abcde

^a Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, 61022 Харьков, Украина
^b Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
^c Сумской институт модификации поверхности, 40030 Сумы, Украина
^d Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина
^e Сумской национальный аграрный университет, 40021 Сумы, Украина

Аннотация: Представлены результаты исследований влияния высокотемпературного отжига в вакууме и воздушной среде на фазовый состав, структуру и напряженное состояние ионно-плазменных конденсатов системы Zr–Ti–Si–N. Показано, что уменьшение поступления активных кислородных атомов при переходе от отжига на воздухе к отжигу в вакуумной атмосфере повышает стабильность фазового состава конденсата до 1000$^\circ$C и выше. Изменение кристаллического фазового состава, в первую очередь, определяется кристаллизацией силиконитрида и образованием кристаллитов $\beta$-Si$_3$N$_4$ с гексагональной решеткой, а также слабо выраженным процессом образования окисла ZrO$_2$, не приводящим к развалу твердого раствора (Zr, Ti)N, а лишь увеличивающим удельный вклад в нем титановой составляющей.

Поступила в редакцию: 27.03.2009