Эта публикация цитируется в 1 статье

Газы и жидкости

О формировании волнового микрорельефа на поверхности полупроводника, распыляемого ионным пучком

А. И. Григорьев

Ярославский государственный университет им. П. Г. Демидова, 150000 Ярославль, Россия

Аннотация: Предложена и проанализирована математическая модель формирования на облучаемой наклонно падающим пучком среднеэнергетичных ионов поверхности полупроводника упорядоченного волнового микрорельефа. Показано, что учет влияния сил флуктуационной природы (молекулярной компоненты расклинивающего давления) и электрического заряда, переносимого ионным пучком, позволяет согласовать предсказания предлагаемой теоретической модели с данными экспериментальных наблюдений.

Поступила в редакцию: 10.09.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2010, 55:6, 789–794

Реферативные базы данных:

•