Аннотация:
Спектрометрическим методом определен элементный состав плазмы, который в основном соответствует набору рабочих веществ, вводимых в разряд посредством напуска водорода и распыления титана. Проведенный анализ спектра флуктуаций уровня СВЧ-сигнала показывает, что характерные пики спектра соответствуют ионным циклотронным частотам тех газов и паров металлов, в атмосфере которых протекает разряд. Установлено совпадение характерных пиков оптического и СВЧ флуктуационного спектров в разряде.