Эта публикация цитируется в 3 статьях

Поверхность, электронная и ионная эмиссия

Пленки легированного галлием оксида цинка, нанесенные с использованием несбалансированной магнетронной распылительной системы

А. Н. Захаров, К. В. Оскомов, С. В. Работкин, А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов

Институт сильноточной электроники СО РАН, 634055 Томск, Россия

Аннотация: Приведены результаты экспериментов по нанесению пленок легированного галлием оксида цинка при помощи несбалансированной магнетронной распылительной системы. Напыление пленок проводилось с использованием распыления на постоянном токе проводящей керамической мишени в атмосфере аргона. Температура подложек составляла 150$^\circ$C. Морфология полученных пленок исследовалась методами растровой электронной и атомно-силовой микроскопии. Показано, что с увеличением степени несбалансированности магнетрона улучшаются электрофизические свойства пленок, получаемые на оси системы. При этом распределение удельного сопротивления покрытия на поверхности подложки становится более равномерным.

Поступила в редакцию: 01.04.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2010, 55:5, 719–723

Реферативные базы данных:

•