А. К. Шуаибов, В. И. Чигинь, Л. Л. Шимон, И. В. Шевера, П. П. Горун, Р. О. Обуховский, “Эмиссионные характеристики и электронные кинетические коэффициенты плазмы поперечного объемного разряда в смеси тяжелых инертных газов с молекулами хлора”, ЖТФ, 2010, том 80, выпуск 5,страницы 87

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Газовый разряд, плазма

Эмиссионные характеристики и электронные кинетические коэффициенты плазмы поперечного объемного разряда в смеси тяжелых инертных газов с молекулами хлора

А. К. Шуаибов^a, В. И. Чигинь^b, Л. Л. Шимон^a, И. В. Шевера^a, П. П. Горун^b, Р. О. Обуховский^b

^a Ужгородский национальный университет, 88000, Ужгород, Украина
^b Национальный университет ``Львовская политехника'', 79013 Львов, Украина

Аннотация: Приводятся результаты исследования излучения полос монохлоридов аргона, криптона, ксенона и молекул хлора из плазмы поперечного объемного разряда на смеси Ar–Kr–Xe–Cl$_2$. Представлены результаты оптимизации рабочей смеси импульсного источника излучения в зависимости от давления и парциального состава рабочей смеси и параметров системы возбуждения. Численно решено кинетическое уравнение Больцмана для функции распределения электронов по энергии, на основании которого получены транспортные характеристики электронов плазмы и удельные потери мощности разряда при разных значениях приведенной напряженности электрического поля. Моделирование параметров плазмы выполнено для четверной смеси, наиболее оптимальной для работы многоволнового источника УФ-ВУФ-излучения. Проведен качественный анализ наиболее важных электронных процессов в многокомпонентной плазме, которые определяют механизмы совместного образования монохлоридов аргона, криптона и криптона в поперечном разряде.

Поступила в редакцию: 23.04.2009