Эта публикация цитируется в 4 статьях

Краткие сообщения

Чувствительный элемент датчика давления на основе пленок Cr и Cu или Fe

И. M. Пазуха, И. Е. Проценко

Сумской государственный университет, 40007 Сумы, Украина

Аннотация: Представлен чувствительный элемент – датчик давления, который формируется на основе пленочных систем Fe/Cr и Cu/Cr. Проанализированы вопрос о взаимной диффузии и фазообразовании, исследована проблема стабильности интерфейсов.

Поступила в редакцию: 30.06.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2010, 55:4, 571–575

Реферативные базы данных:

•