Эта публикация цитируется в 2 статьях

Газовый разряд, плазма

Зондовые исследования лазерного эрозионного факела при абляции кремния в вакууме

Е. В. Хайдуков, О. А. Новодворский, А. А. Лотин, В. В. Рочева, О. Д. Храмова, В. Я. Панченко

Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, 140700 Шатура, Московская область, Россия

Аннотация: Методом зонда Ленгмюра исследовался эрозионный факел, образующийся при абляции кремния излучением твердотельного лазера ($\lambda$ = 1.06 $\mu$m). Получены времяпролетные кривые ионных токов на зонд для плазменного пучка, образованного пересекающимися факелами от двух мишеней, и для эрозионного факела от одной мишени кремния. Исследования проведены для расстояний зонд-мишень в интервале 40–157 mm. Полученные времяпролетные кривые ионов эрозионного факела представляют собой сумму одномерных распределений Максвелла по скоростям для четырех групп ионов. Установлено, что в плазменном пучке, образованном пересекающимися факелами от двух мишеней, присутствуют не все группы ионов исходных факелов.

Поступила в редакцию: 28.05.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2010, 55:4, 491–495

Реферативные базы данных:

•