Поверхность, электронная и ионная эмиссия

Изотопные эффекты при воздействии ионов на поверхность твердых тел

Н. Н. Никитенков, В. В. Ларионов, Ю. И. Тюрин

Томский политехнический университет, 634050 Томск, Россия

Аннотация: Приведены результаты исследований изотопных эффектов, возникающих в твердых телах в процессах ионного распыления и ионной имплантации. Исследования выполнены методом вторичной ионной масс-спектрометрии и энергомасс-спектрометрии вторичных ионов на образцах молибдена, никеля, имплантированного медью, и на ряде модификаций титана. Выявлены общие закономерности в изменениях изотопного состава в различных процессах. Обсуждаются механизмы изотопных эффектов.

Поступила в редакцию: 23.04.2009
Принята в печать: 20.07.2009

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2010, 55:3, 423–427

Реферативные базы данных:

•