Аннотация:
Предложены модели десорбции из двумерных адсорбированных слоев в приближении потенциала Морзе. Установлена взаимосвязь параметров кинетики десорбции и потенциала взаимодействия адатом–подложка в данном приближении. Сформулированы условия реализации того или иного десорбционного механизма. Предложенные модели апробированы на основе экспериментальных результатов по десорбционной кинетике для систем редкоземельный металл – Si(111). Полученные результаты важны для более глубокого понимания процессов десорбции атомов металлов с поверхностей полупроводников, которые подвержены структурным трансформациям.
Ключевые слова:
поверхность, адсорбированная частица, потенциал Морзе, механизм десорбции.
Поступила в редакцию: 11.11.2024 Исправленный вариант: 18.07.2025 Принята в печать: 25.09.2025