Эта публикация цитируется в 2 статьях

Твердое тело

Исследование слоев нанокомпозита пористый кремний-оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии

В. В. Болотов, Н. А. Давлеткильдеев, А. А. Коротенко, В. Е. Росликов, Ю. А. Стенькин

Омский филиал Института физики полупроводников СО РАН

Аннотация: С помощью метода спектральной эллипсометрии исследовано послойное распределение компонентов в нанокомпозите пористый кремний–оксид олова, полученном тремя методами: химического парофазного осаждения, молекулярного наслаивания и магнетронного распыления. Показано, что в нанокомпозитах, сформированных данными методами, SnO$_x$ проникает на глубину более 400 nm и неравномерно распределяется по толщине пористого слоя. Наибольшей глубиной проникновения и однородностью послойного распределения SnO$_x$ характеризуется нанокомпозит, полученный по методу магнетронного распыления с дополнительной термообработкой.

Поступила в редакцию: 06.10.2010
Принята в печать: 04.03.2011

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2011, 56:11, 1593–1598

Реферативные базы данных:

•