Эта публикация цитируется в 2 статьях

Поверхность, электронная и ионная эмиссия

Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов

А. М. Бадалян^a, Л. Ф. Бахтурова, В. В. Каичев^b, О. В. Поляков^a, О. П. Пчеляков^c, Г. И. Смирнов<sup>c

a</sup> Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск
^b Институт катализа им. Г. К. Борескова СО РАН, г. Новосибирск
^c Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск

Аннотация: Предложена и экспериментально апробирована новая технология формирования тонких наноструктурированных слоев на полупроводниковых и диэлектрических подложках газогетерогенным синтезом из малоразмерных летучих комплексов металлов. Тонкие наноструктурированные слои меди на кремниевых и кварцевых подложках получены из малоразмерных летучих формиатных комплексов в условиях процесса совмещенного синтеза-переноса. Установлено, что медь в слоях, полученных этим методом, преимущественно находится в металлическом состоянии (Cu$^0$) в виде плотно упакованных наноразмерных гранул с характерной структурой.

Поступила в редакцию: 29.11.2010

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2011, 56:9, 1333–1338

Реферативные базы данных:

•