Ю. Ю. Клосс, Д. В. Мартынов, Ф. Г. Черемисин, “Компьютерное моделирование и анализ технических характеристик термомолекулярных микронасосов”, ЖТФ, 2011, том 81, выпуск 7,страницы 141

Эта публикация цитируется в 1 статье

Поверхность, электронная и ионная эмиссия

Компьютерное моделирование и анализ технических характеристик термомолекулярных микронасосов

Ю. Ю. Клосс^ab, Д. В. Мартынов^ab, Ф. Г. Черемисин^ac

^a Московский физико-технический институт, 147700 Долгопрудный, Московская область, Россия
^b Российский научный центр "Курчатовский институт", 123182 Москва, Россия
^c Вычислительный центр им. А. А. Дородницына РАН, 117967 Москва, Россия

Аннотация: Исследованы термомолекулярные микронасосы, работающие без движущихся механических частей, различающиеся по форме, но имеющие в основе один и тот же физический эффект – тепловое скольжение газа вдоль неравномерно нагретых стенок. Показана применимость разработанных методов компьютерного моделирования и программных систем для анализа физических свойств различного типа микронасосов. В качестве критериев работы устройств выступают отношение давлений, создаваемое насосом в установившемся режиме, и геометрия конструкции насоса, необходимая для применения устройства в MEMS-системах. Функциональность насосов изучалась численно с помощью компьютерного моделирования кинетического уравнения Больцмана.

Поступила в редакцию: 09.09.2010