Эта публикация цитируется в 7 статьях

Твердотельная электроника

Новые возможности количественного анализа в спектроскопии потерь энергии отраженных электронов структур Fe/Si

А. С. Паршин^ab, С. А. Кущенков^a, Г. А. Александрова^a, С. Г. Овчинников<sup>b

a</sup> Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева, 660014 Красноярск, Россия
^b Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН, 660036 Красноярск, Россия

Аннотация: На примере слоистых структур железа на кремниевых подложках показана возможность определения элементного состава, химического состояния и распределения элементов по толщине приповерхностной области из результатов компьютерного моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в рамках диэлектрической теории и экспериментального определения произведения средней длины неупругого пробега на сечение неупругого рассеяния электронов по потерям энергии из спектров потерь энергии отраженных электронов.

Поступила в редакцию: 24.06.2010
Принята в печать: 13.10.2010

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2011, 56:5, 656–661

Реферативные базы данных:

•