Аннотация:
Представленная модель положительного столба (ПС) тлеющего разряда среднего (5–30 Torr) давления в смеси инертных газов с хлором при токах до 50 mA/cm$^2$ развивает существующие модели разрядов в электроотрицательных газах. Новым является введение в модель радиальной неоднородности газовой температуры и диссоциации молекул хлора на атомы, а также учет нагрева ионов электрическим полем и ступенчатой ионизации. В результате рассчитанные радиальные профили концентраций заряженных частиц не только качественно согласуются с ранее разработанными теориями электроотрицательных разрядов, но и количественно соответствуют экспериментальным данным. Показано, что для такого соответствия в модели ПС тлеющего разряда в смеси инертных газов и хлора при указанных условиях необходим учет диссоциации молекул хлора и влияния продольного поля $E_z$ на ионные температуры. Но при оценке ионных температур можно не учитывать радиальное поле $E_r$. Продемонстрирована малость вклада тока ионов в общий ток разряда, что ранее лишь постулировалось. Показано, что доминирующим механизмом гибели электронов и положительных ионов является диффузионное устранение, поэтому можно пренебречь электрон-ионной рекомбинацией, а в балансе положительных ионов – и ион-ионной.
Полный текст:
PDF файл (358 kB)
