Ю. М. Задиранов, С. Г. Калмыков, М. Э. Сасин, П. Ю. Сердобинцев, “Исследование структуры и параметров луча KrF-эксимерного лазера”, ЖТФ, 2012, том 82, выпуск 12,страницы 72

Эта публикация цитируется в 5 статьях

Оптика, квантовая электроника

Исследование структуры и параметров луча KrF-эксимерного лазера

Ю. М. Задиранов^a, С. Г. Калмыков^a, М. Э. Сасин^a, П. Ю. Сердобинцев^b

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Распределение энергии по сечению луча ультрафиолетового KrF-эксимерного лазера с конфокальным неустойчивым резонатором измерено по люминесценции ультрафиолетового излучения на стекле. Обнаружена сложная тонкая структура луча. Двумя разными методами - по почернению термобумаги и по абляционным кратерам на поверхности стекла – выполнены измерения вблизи фокуса; показано, что упомянутая сложная структура сохраняется также и в районе перетяжки каустической поверхности. Оценки размеров поперечного сечения в этом месте заметно зависят от примененных методов измерения значения угла расходимости исходного луча, определенные разными способами, варьируют от 0.3 до 0.6–1.3 mrad. При фокусировке с помощью специально сконструированного безаберрационного объектива удается получить фокальное пятно с линейными размерами в несколько десятков микрон.

Поступила в редакцию: 22.12.2011