Эта публикация цитируется в 2 статьях

Оптика, квантовая электроника

Интегральная оценка качества дифракционного изображения в оптической литографии на основе строгого решения задачи дифракции плоской волны на щели

А. С. Рудницкий^a, В. М. Сердюк<sup>b

a</sup> Белорусский государственный университет, 220108 Минск, Белоруссия
^b Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко Белорусского государственного университета, 220108 Минск, Белоруссия

Аннотация: Предложен метод интегральной оценки качества оптического дифракционного изображения, который использует несколько скалярных параметров, определяемых посредством интегрального сравнения двух функций на поверхности формирования изображения. Первая функция представляет собой реальное распределение плотности энергии электрического поля на данной поверхности и может моделироваться решением соответствующей строгой или приближенной дифракционной задачи формирования изображения, а в качестве второй функции берется требуемое распределение энергии на указанной поверхности. Метод продемонстрирован на примере оценки качества изображений, получаемых при бесконтактной печати с фотошаблона в оптической литографии, где функция изображения вычисляется с помощью известного строгого решения задачи дифракции плоской волны на щели в проводящем экране.

Поступила в редакцию: 01.11.2011

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2012, 57:10, 1387–1393

Реферативные базы данных:

•