Аннотация:
Интенсивное развитие нанотехнологии требует создания системы метрологического обеспечения измерений в первую очередь эталона длины в нанометровом диапазоне, что включает создание и использование стандартов нанорельефа поверхности. Одним из типов стандартов является периодическое расположение атомов в кристаллической решетке монокристалла. С этой целью удобно использовать сколы слоистых кристаллов. Скол слоистого полупроводника InSe представляет собой Ван-дер-Ваальсову поверхность. Она имеет высокую химическую стабильность, низкую шероховатость поверхности, легко формируется скалыванием, имеет протяженные атомарно-гладкие участки высоко упорядоченной ромбоэдрической решетки с периодом элементарной ячейки $a$ = 0.4003 nm и может быть использована, аналогично высокоориентированному пиролитическому графиту, в качестве стандарта нанорельефа.
Поступила в редакцию: 26.07.2011 Принята в печать: 29.11.2011