С. Е. Никитин, Е. И. Теруков, С. В. Тимофеев, Н. К. Манабаев, “Измерение микроколичеств диоксида кремния на поверхности кремния с помощью сенсоров на основе перфторированных протонпроводящих мембран”, ЖТФ, 2012, том 82, выпуск 6,страницы 132

Эта публикация цитируется в 1 статье

Приборы и методы эксперимента

Измерение микроколичеств диоксида кремния на поверхности кремния с помощью сенсоров на основе перфторированных протонпроводящих мембран

С. Е. Никитин^a, Е. И. Теруков^a, С. В. Тимофеев^b, Н. К. Манабаев^c

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Акционерное общество "Пластполимер", 195197 Санкт-Петербург, Россия
^c Казахский национальный университет им. аль-Фараби, 480078 Алма-Ата, Казахстан

Аннотация: Исследована методика измерения микроколичества диоксида кремния, находящегося на поверхности кремния. Методика основана на растворении тонких слоев SiO$_2$ в водных растворах фтористоводородной кислоты с последующим анализом полученных растворов с помощью сенсоров на основе перфторированных протонпроводящих мембран. Показана возможность количественного определения не менее 1 $\cdot$ 10$^{-6}$ mol диоксида кремния, находившегося на поверхности кремния.

Поступила в редакцию: 16.08.2011