Аннотация:
Исследовано влияние наноструктурирования поверхностных слоев подложки Cu на микроструктуру, механические свойства и механизмы разрушения теплозащитных покрытий Si–Al–N при одноосном растяжении. Наноструктурирование подложки проведено двумя методами: бомбардировкой пучками ионов Zr$^+$ и ультразвуковой ударной обработкой. Установлено, что в зависимости от состояния подложки в процессе механического нагружения действуют различные механизмы скалывания покрытий Si–Al–N. Показано, что наиболее высокая сдвиговая прочность границы раздела покрытие–подложка достигается в результате ионной обработки подложки.