Эта публикация цитируется в 6 статьях

Поверхность, электронная и ионная эмиссия

Ионное распыление многокомпонентных мишеней: изменение состава поверхности и эмиссия кластеров

Ю. Кудрявцев

Отделение твердотельной электроники Центра исследований и передового обучения Национального политехнического института, 07360 Мехико, Мексика

Аннотация: Исследован эффект преимущественного распыления компонентов, наблюдаемый при облучении многокомпонентных мишеней ионами средних энергий. Для описания преимущественного распыления предложен новый термин – “выход распыления поверхности”, определяемый как среднее число атомов $i$-й компненты, распыленных непосредственно из верхнего моноатомного слоя поверхности в расчете на один первичный ион. Показано, что выход распыления димера пропорционален поверхностной концентрации компоненты, образующей этот димер, что дает возможность по составу потока распыления оценивать степень преимущественного распыления и определять состав поверхности травления.

Поступила в редакцию: 04.04.2011

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2012, 57:2, 247–250

Реферативные базы данных:

•