Аннотация:
На примере сверхгладкой кремниевой подложки продемонстрировано, что использование современных интерферометров белого света позволило получить достоверные данные даже для высокоточных подложек с субнанометровой шероховатостью поверхности. Для подтверждения достоверности результатов, полученных методом интерференционной микроскопии в среднечастотном пространственном диапазоне, сопоставлены PSD-функции поверхности подложки, полученные при использовании объективов с разным увеличением, а также с помощью методов атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии с синхротронным источником. Определена шероховатость подложки на уровне 0.8 nm в диапазоне пространственных частот 1.5 $\cdot$ 10$^{-3}$–64 $\mu$m$^{-1}$.
Полный текст:
PDF файл (788 kB)