XXIX Cимпозиум "Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород 10-14 марта 2025 г.
Фотоника

Изготовление дифракционных решеток c блеском с переменной плотностью штрихов

Д. В. Мохов^a, Т. Н. Березовская^a, К. Ю. Шубина^a, Е. В. Пирогов^a, Н. Д. Прасолов^b, Л. И. Горай^acde, А. Д. Буравлев<sup>bcd

a</sup> Академический университет им. Ж.И. Алфёрова РАН, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^c Институт аналитического приборостроения РАН, 198095 Санкт-Петербург, Россия
^d Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 197022 Санкт-Петербург, Россия
^e Институт космических исследований РАН, 117997 Москва, Россия

Аннотация: Решетки с блеском и переменным расстоянием между штрихами (VLS) изготовлены на кремниевых подложках с использованием прямой лазерной литографии и анизотропного жидкостного травления. Параметры решеток в процессе изготовления контролировались с помощью методов растровой электронной и атомно-силовой микроскопии. Сообщено о деталях изготовления и характеристиках прототипов VLS-решетки с различными углами блеска, предназначенной для полихроматора солнечно-слепой части УФ диапазона.

Ключевые слова: дифракционная Si-решетка, решетка с переменным периодом, угол блеска, треугольный профиль штриха, атомно-силовая микроскопия, растровая электронная микроскопия, солнечно-слепой ультрафиолет.

Поступила в редакцию: 29.04.2025
Исправленный вариант: 29.04.2025
Принята в печать: 29.04.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.10.61339.75-25

Реферативные базы данных:

•