Эта публикация цитируется в 7 статьях

Физические приборы и методы эксперимента

Применение мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов

М. М. Барышева, Ю. А. Вайнер, Б. А. Грибков, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Работа посвящена развитию метода диффузного рассеяния мягкого рентгеновского излучения для аттестации оптических элементов дифракционного качества и их подложек на рабочей длине волны. Предложен прибор, позволяющий производить процедуру аттестации в лабораторных условиях за счет динамического диапазона, приближающегося к синхротронным источникам. Приводятся результаты экспериментов, сопоставленные с данными альтернативных методов исследования.

Поступила в редакцию: 16.11.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2013, 58:9, 1371–1379

Реферативные базы данных:

•