Эта публикация цитируется в 8 статьях

Краткие сообщения

Нейтральные компоненты при азотировании в тлеющем разряде

И. М. Пастух

Хмельницкий национальный университет

Аннотация: Установлено, что при азотировании в тлеющем разряде в состав потока, бомбардирующего поверхность, входят быстрые нейтральные частицы, которые наряду с заряженными играют существенную роль в реализации процесса.

Поступила в редакцию: 23.10.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2013, 58:8, 1228–1230

Реферативные базы данных:

•