Эта публикация цитируется в 9 статьях

Физика низкоразмерных структур

Об устойчивости работы сканирующего силового микроскопа с нановискером на вершине зонда

В. В. Левичев^a, М. В. Жуков^a, И. С. Мухин^ab, А. И. Денисюк^a, А. О. Голубок<sup>ac

a</sup> Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
^b Санкт-Петербургский академический университет — научно-образовательный центр нанотехнологий РАН (Академический университет)
^c Институт аналитического приборостроения РАН, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Исследована работа кантилевера сканирующего зондового микроскопа с металл-углеродным вискером на вершине. Металл-углеродные вискеры, выращенные с помощью технологии осаждения материала под действием фокусированного ионного пучка в присутствии газов-прекурсоров, имели аспектное отношение $\alpha\approx$ 10–200 и сохраняли свою форму при многократном сканировании в силовом режиме. Экспериментально продемонстрировано преимущество зондов с вискерами при исследовании поверхности с вертикальными стенками и узкими каналами. При больших значениях $\alpha$ обнаружена неустойчивость в работе сканирующего зондового микроскопа, обусловленная взаимодействием боковой поверхности вискера с образцом. Показано, что для устойчивой работы при больших аспектных отношениях необходимо ориентировать ось вискера по нормали к поверхности образца.

Поступила в редакцию: 19.09.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2013, 58:7, 1043–1047

Реферативные базы данных:

•