Эта публикация цитируется в 1 статье

Физическая электроника

Применение метода поверхностной ионизации для детектирования вторичных частиц во вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС)

С. Н. Морозов, У. Х. Расулев

Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз, г. Ташкент, Академгородок

Аннотация: Разработан метод постионизации в процессе ионного распыления, основанный на поверхностной ионизации распыленных частиц. Приведенные оценки показывают, что метод позволяет существенно повысить чувствительность метода ВИМС для ряда элементов. Экспериментально с использованием поверхностно-ионизационного метода постионизации исследован неаддитивный рост коэффициента распыления индия с увеличением количества атомов в бомбардирующих кластерах Bi$_m^+$ ($m$ = 1–7) в диапазоне энергий 2–10 keV. Данная схема детектирования нейтральных частиц может быть применена и для других способов анализа поверхности, например при лазерном испарении поверхности и электронно-стимулированной десорбции.

Поступила в редакцию: 31.10.2012

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2013, 58:6, 821–826

Реферативные базы данных:

•