Аннотация:
На основе созданной кинетической модели проводится моделирование характеристик XeCl эксиплексного источника УФ-излучения на смеси Xe с парами CsCl с возбуждением продольным импульсно-периодическим разрядом. Получены зависимости мощности и эффективности возбуждения излучения эксиплексных молекул XeCl от концентрации ксенона, концентрации молекул CsCl и частоты следования импульсов возбуждения. Результаты расчетов сравниваются с известными экспериментальными данными. Обсуждаются причины ограничения выходных мощностей излучения исследуемой рабочей среды.