Аннотация:
Рассмотрены конструктивные особенности и технологические аспекты изготовления мощного интегрального тиристора с внешним полевым управлением – нового энергосберегающего прибора для силовой преобразовательной техники. Приведены осциллограммы и обсуждены механизмы процессов включения и выключения микротиристорного чипа с тиристорной $n^+p'N^-n'p^+$-структурой в элементарной ячейке. Экспериментально исследовано явление развития локального динамического пробоя при выключении. Приведена осциллограмма такого процесса и продемонстрирован экспериментально наблюдаемый при плотности тока $\sim$ 150 A/cm$^2$ характер разрушения. Вольт-амперные характеристики в проводящем направлении при комнатной температуре и при 125$^\circ$C свидетельствуют о том, что при плотности тока более 60 A/cm$^2$ температурная зависимость меняет знак и становится положительной, что является принципиально важным для параллельной работы микротиристорных чипов в модуле. Показано, что по своим статистическим и динамическим характеристикам интегральные тиристоры с внешним полевым управлением при относительной простоте конструкции успешно конкурируют с базовым прибором современной силовой преобразовательной техники – биполярным транзистором с изолированным затвором.