XXIX Cимпозиум "Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород 10-14 марта 2025 г.
Физика низкоразмерных структур

Структурные и отражательные характеристики Cr/C многослойных зеркал, полученных методом реактивного распыления

Р. А. Шапошников, С. А. Гарахин, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, 603087 Афонино, Кстовский р-н, Нижегородская обл., Россия

Аннотация: Приведены результаты исследования отражательных характеристик и структурных параметров многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Cr/C, оптимизированных на спектральный диапазон длин волн 44–66 $\mathring{\mathrm{A}}$. Также приведены результаты исследования структур Cr/C, синтезированных в смеси газов “аргон + азот”.

Ключевые слова: многослойные рентгеновские зеркала, магнетронное распыление, рентгеновская микроскопия, окно прозрачности углерода, биологические исследования.

Поступила в редакцию: 29.05.2025
Исправленный вариант: 29.05.2025
Принята в печать: 29.05.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.09.61243.123-25

Реферативные базы данных:

•