XXIX Cимпозиум "Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород 10-14 марта 2025 г.
Твердое тело

Перспективы сенсорики с применением технологии RFTES для сверхпроводящих квантовых цепей

С. В. Шитов^ab, Н. Ю. Руденко^a, В. И. Чичков<sup>a

a</sup> Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", 119049 Москва, Россия
^b Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, 125009 Москва, Россия

Аннотация: Рассмотрены перспективы продвижения отечественной технологии RFTES, использующей принцип высокочастотного разогрева сверхпроводящего абсорбера в СВЧ резонаторе, для дисперсионного считывания состояния сверхпроводящих кубитов в диапазоне частот 1–8 GHz. Проведен анализ совместимости технологии и схемотехники кубита и RFTES-детектора, необходимые для интеграции таких детекторов на одном чипе, а также необходимые уровни чувствительности и подавления обратного воздействия детектора на кубит. Исследование показало, что имеющийся уровень RFTES-технологии уже сейчас близок к реализации дисперсионного считывания сверхпроводящего резонатора с добротностью $Q$ = 1000, который содержит менее 10 фотонов частоты 7 GHz, с длительностью измерения около 10 $\mu$s. При этом возможно подавление обратного воздействия детектора на $\sim$ 140 dB на частоте накачки детектора и на $\sim$ 90 dB на частоте возбуждения кубита, что может удовлетворять условиям их совместимости в пределах единой микросхемы.

Ключевые слова: прямой детектор, RFTES-детектор, сверхпроводящий кубит, дисперсионное считывание, сверхпроводящий резонатор, сверхпроводящий фазовый переход, сверхпроводящий микромостик, пленка гафния, горячий электронный газ, сверхпроводимость на СВЧ.

Поступила в редакцию: 15.05.2025
Исправленный вариант: 15.05.2025
Принята в печать: 15.05.2025

DOI: 10.61011/JTF.2025.09.61231.103-25

Реферативные базы данных:

•