Аннотация:
Твердые (до 17 GPa) углеродные покрытия наносились на торцевые SiC-подшипники, используемые в жидкостных насосах, методом импульсного сильноточного магнетронного распыления графита. За счет этого удалось уменьшить коэффициент трения с 0.43 до 0.11 и скорость износа с 26 до 0.307 $\mu$m$^3$N$^{-1}$m$^{-1}$, что увеличило срок службы подшипников примерно в 3 раза. Причиной осаждения твердых и износостойких углеродных покрытий является генерация плотной (до 10$^{13}$ cm$^{-3}$) плазмы.