RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2014, том 84, выпуск 12, страницы 73–76 (Mi jtf8282)

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Твердое тело

Твердые углеродные покрытия, наносимые методом импульсного сильноточного магнетронного распыления

К. В. Оскомов, А. А. Соловьев, С. В. Работкин

Институт сильноточной электроники СО РАН, 634055 Томск, Россия

Аннотация: Твердые (до 17 GPa) углеродные покрытия наносились на торцевые SiC-подшипники, используемые в жидкостных насосах, методом импульсного сильноточного магнетронного распыления графита. За счет этого удалось уменьшить коэффициент трения с 0.43 до 0.11 и скорость износа с 26 до 0.307 $\mu$m$^3$N$^{-1}$m$^{-1}$, что увеличило срок службы подшипников примерно в 3 раза. Причиной осаждения твердых и износостойких углеродных покрытий является генерация плотной (до 10$^{13}$ cm$^{-3}$) плазмы.

Поступила в редакцию: 13.03.2014


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2014, 59:12, 1811–1814

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026