Теоретическая и математическая физика

Математическое моделирование температурного профиля металлических пленок при импульсном фотонном отжиге

В. Н. Нечаев, А. В. Шуба

Воронежский государственный технический университет, 394026 Воронеж, Россия

Аннотация: В рамках модели термического пика получено точное решение системы уравнений теплопроводности для электронной и фононной подсистем и определена температура пленки, подверженной некогерентному световому облучению. Проанализированы степень влияния теплового контакта с окружением, затухания электромагнитного излучения на пространственное распределение температуры в пленке алюминия. Даны рекомендации по выбору оптимального режима фотонного отжига.

Поступила в редакцию: 20.09.2013
Принята в печать: 22.01.2014

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2014, 59:12, 1744–1748

Реферативные базы данных:

•