Эта публикация цитируется в 9 статьях

Физическая электроника

Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку

Л. П. Амосова, М. В. Исаев

Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Магнетронным напылением из металлической мишени на холодную подложку без ионной стимуляции процесса и без последующего отжига получены слои ITO с поверхностным сопротивлением 50 $\Omega/\Box$ и пропусканием в видимой области спектра до 100%. Показано, что указанные параметры слоев могут быть достигнуты в достаточно широком диапазоне парциального давления кислорода регулировкой скорости напыления и в достаточно большом диапазоне скоростей напыления регулировкой давления кислорода. Построена универсальная взаимно однозначная зависимость скорости напыления от парциального давления кислорода.

Поступила в редакцию: 06.02.2014

 Англоязычная версия: Technical Physics, 2014, 59:10, 1545–1549

Реферативные базы данных:

•